الإنتاج السنوي ل 4,000 طن من سائل تلميع CMP مخصص لمشروع السيليكا المدخنة

1 خلفية المشروع

وفي سياق الاحتكاكات المكثفة الناجمة عن الحرب التجارية بين الصين والولايات المتحدة، اشتدت المنافسة على التحكم المستقل في المواد شبه الموصلة. وفي السنوات الأخيرة بشكل خاص، أصبحت القدرة الإنتاجية الجديدة لبلادي هي الزيادة الرئيسية في المصانع العالمية، ولكن المواد الخام الرئيسية ومعدات الإنتاج التي تحد من تعزيز صناعة أشباه الموصلات لا تزال تحتكرها الشركات الأمريكية واليابانية تقريبا. إنه الحصار الإضافي لصناعة الرقائق، والذي يكاد يكون بمثابة ضربة لتطوير صناعة أشباه الموصلات في بلدي. ولذلك تم تسليط الضوء على الموقع الاستراتيجي لتوطين المواد شبه الموصلة، ويعتبر تسريع عملية إحلال الواردات في مجال المواد اتجاها عاما.

2 وصف المنتج

التلميع الميكانيكي الكيميائي CMP (ChemicalMechanicalPolishing) هو مزيج من التآكل الكيميائي والاحتكاك الميكانيكي. إنها حاليًا تقنية تجانس سطح مادة أشباه الموصلات الأكثر شيوعًا. فهو يجمع بين مزايا الاحتكاك الميكانيكي والتآكل الكيميائي، وبالتالي تجنب تلف السطح الناجم عن التلميع الميكانيكي البسيط وسرعة التلميع البطيئة، وتسطيح السطح والتلميع الناجم عن التلميع الكيميائي البسيط. العيوب مثل ضعف الاتساق. ويمكن الحصول على سطح رقاقة مثالي نسبيا.

من المقبول عمومًا دوليًا أنه عندما يكون حجم ميزة الجهاز أقل من 0.35 ميكرومتر، يجب إجراء الاستواء الشامل لضمان دقة ودقة نقل الصور الحجرية، وتعد CMP حاليًا هي التقنية الوحيدة تقريبًا التي يمكنها توفير الاستواء العالمي. المخطط الرئيسي لمعداتها هو كما يلي:

سائل الطحن: مادة سائلة تضاف أثناء الطحن. يرتبط حجم الجسيمات بالعيوب مثل الخدوش بعد الطحن. كلما زاد حجم الجسيم، زاد الضرر الذي يلحق بالرقاقة، وكلما كان الجسيم أصغر، كان ذلك أفضل. يتكون الشكل الأساسي من عامل تلميع مسحوق نانو ومحلول مائي مكون قلوي. حجم الجسيمات 1-

100 نانومتر، التركيز 1.5%-50%، التركيب الأساسي بشكل عام هو KOH، الأمونيا أو الأمين العضوي، ودرجة الحموضة 9.5-11.

نظرًا للنقاء العالي للسيليكا المدخنة، وحجم الجسيمات النانومترية الأصلية التي يمكن التحكم فيها وتوزيع حجم الجسيمات، يصبح SiO2 المدخن المادة الكاشطة الرئيسية في ملاط تلميع الأكسيد.

3 مواد المشروع:

مسحوق السيليكون المعدني، حمض الهيدروكلوريك، الهيدروجين. الإنتاج السنوي 1000 طن من مشروع غاز ثاني أكسيد التيتانيوم النانوي الإنتاج السنوي 20000 طن من الورق الخاص مشروع كربونات الكالسيوم الخفيف الخاص الإنتاج السنوي 1000 طن من مشروع BIPB (DCP عديم الرائحة) استمرار البحث والتطوير

4. المرافق الداعمة للمشروع:

مجمعات صناعية كيميائية، بخار، كهرباء، مياه صناعية.

5. المزايا التقنية

براءة الاختراع: جهاز لإنتاج ثاني أكسيد السيليكون وأكسيد المعدن بطريقة الطور الغازي

براءة الاختراع: جهاز وعملية لإنتاج ثلاثي كلورو سيلان عالي النقاء ورابع كلوريد السيليكون

6. إجمالي استثمار المشروع 150 مليون يوان.

7. مساحة المشروع: 30 فدان

8. الفوائد الاقتصادية